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根据真空室进行工艺生产时所需要的工作压力选主泵。应正确地选择主泵的工作点,在其工作压力范围内,应能排除真空室内工艺过程中产生的全部气体量。因此,真空室内的工作压力一定要在主泵适合的抽速压力范围之内。根据真空室的容积大小和要求的抽气时间来选主泵。真空室体积大小对系统抽到极限真空的时间有影响。当抽气时间要求一定时,若真空室体积越大,则主泵抽速也越大。
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油位太高引起的停泵返油太多(加油太多,或有水汽在泵中凝结,或在排气管中凝结的水流回泵中);有异物在泵内(进气管中的焊渣、氧化物;旋片弹簧等泵零件的碎屑);旋片变形卡住;发生了咬合(铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承)。
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接下来是拆侧盖内的零件,这些零件是用于确定螺杆固定端端面间隙,因此在拆卸时须作好标记,以便于重装时原样复位,避免重新调整固定端间隙。使用的M12顶杆将侧盖从泵体上卸下,再从侧盖内将干式密封、轴承等卸下,要注意是否存在调节垫圈,在垫圈上作好标记。