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根据真空室进行工艺生产时所需要的工作压力选主泵。应正确地选择主泵的工作点,在其工作压力范围内,应能排除真空室内工艺过程中产生的全部气体量。因此,真空室内的工作压力一定要在主泵适合的抽速压力范围之内。根据真空室的容积大小和要求的抽气时间来选主泵。真空室体积大小对系统抽到极限真空的时间有影响。当抽气时间要求一定时,若真空室体积越大,则主泵抽速也越大。
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两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙型空间分隔成A、B、C三个部分,当转子按图示方向旋转时,与吸气口相通的空间A的容积不断地增大,A空间的压强不断的降低,当A空间内的压强低于被抽容器内的压强,根据气体压强平衡的原理,被抽的气体不断地被抽进吸气腔A,此时正处于吸气过程。
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在抽除有毒、腐蚀性等对人体有害的气体时,拆卸前,请先使用N2对雪狼加速器官方进行清扫,务必使残留气体尽数排出。请注意,运行时雪狼加速器官方零部件温度很高,请在泵完全冷却后再行拆装,以免伤到自己。